清华大学众多人员兼职，报告期内新增主要发明专利都包括上述人员

橙子

3.关于清华大学人员兼职

根据问询回复：（1）2020年清华大学人事处批复同意朱煜、张鸣、杨开明在发行人处的兼职申请；（2）清华大学人事处、清华大学机械工程系及成荣签署及续签《离岗创新创业协议书》，期限至2022年1月31日；（3）报告期内，在发行人处兼职的其他清华大学人员还有李鑫、王磊杰、胡楚雄，李鑫已签订《离岗创新创业协议》，王磊杰兼职担任公司顾问期限至2022年8月31日，胡楚雄已不再为发行人提供顾问服务；（4）报告期内主要新增的发明专利发明人都包括朱煜等清华大学兼职人员，公司专职研发人员作为发明人申请的主要为实用新型专利。

请发行人说明：（1）分析报告期内清华大学在公司兼职人员及离岗创业人员参与的各项知识产权（报告期内取得的）对公司核心技术的影响，该等人员已形成或未来可能形成的与发行人主营业务有关的知识产权是否属于其在清华任职的职务成果，发行人与清华大学就现有及未来可能形成的该等知识产权的安排；（2）兼职人员的人事关系、劳动合同签订情况，发行人人员是否与清华大学相独立；（3）说明朱煜、成荣等人目前兼职或离岗创业状态是否存在期限限制和到期后的安排，结合该等人员对公司研发的重要性分析是否存在彻底解决非专职参与发行人工作的措施，分析该等人员未来不在公司任职的影响及是否构成对发行人生产经营的潜在重大不利影响；（4）胡楚雄等人员在公司生产经营中发挥的作用，不再提供顾问服务对公司目前生产经营构成重大不利影响。

请保荐机构、发行人律师核查并发表明确意见。

【回复】

一、发行人说明
（一）分析报告期内清华大学在公司兼职人员及离岗创业人员参与的各项知识产权（报告期内取得的）对公司核心技术的影响，该等人员已形成或未来可能形成的与发行人主营业务有关的知识产权是否属于其在清华任职的职务成果，发行人与清华大学就现有及未来可能形成的该等知识产权的安排

1、分析报告期内清华大学在公司兼职人员及离岗创业人员参与的各项知识产权（报告期内取得的）对公司核心技术的影响

报告期内，清华大学在公司兼职人员及离岗创业人员参与的授权专利及在审专利合计 50 项（含境外申请专利），上述知识产权是发行人与清华大学进行技术转让、委托清华大学共同开发、承担国家科技重大专项过程中与清华大学共同开发以及发行人自主开发过程中产生，相关情况如下：

产生原因	报告期内已授权专利数量（项）	报告期提交申请的在审专利数量（项）	涉及发行人核心技术的专利数量（项）
技术转让	2	0	0
委托清华大学共同开发	17	0	2
浸没式光刻机双工件台产品研 制与能力建设项目	8	4	0
浸没双工件台平面光栅位置测 量系统研发项目	9	9	2
自主开发	1	0	1
合计	37	13	5

清华大学在公司兼职人员及离岗创业人员参与发行人现有核心技术对应的专利情况如下：

核心技术名称	序号	对应的专利名称	专利号	专利权人	专利类型	是否报告期内	兼职及离岗创业人员是否参与
平面电机双工 件台技术	1	动圈式大范围移动磁浮六自由度工作台	ZL200710304519.9	清华大学、发行人	发明	否	是
	2	采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统	ZL200910172949.9	清华大学、发行人	发明	否	是
	3	气浮平面电机初始零位的定位方法	ZL201210242284.6	清华大学、发行人	发明	否	是
	4	一种平面电机永磁体阵列气浮表面的加工方法	ZL201511001030.5	清华大学、发行人	发明	是	是
六自由度磁浮 微动台技术六 自由度磁浮微 动台技术	1	一种6自由度微动工作台	ZL200710118130.5	清华大学、发行人	发明	否	是
	2	一种六自由度微动工作台	ZL201210324261.X	清华大学、发行人	发明	否	是
	3	一种光栅外差干涉自准直测量装置	ZL201310595336.2	清华大学、发行人	发明	否	是
	4	一种对称式光栅外差干涉二次衍射测量装置	ZL201310596451.1	清华大学、发行人	发明	否	是
	5	一种电磁弹射启动式掩模台系统	ZL201410306905.1	清华大学、发行人	发明	否	是
超精密位移测 量技术	1	五自由度外差光栅干涉测量系统	ZL201810708633.6	清华大学、发行人	发明	是	是
	2	二自由度外差光栅干涉测量系统	ZL201810709970.7	清华大学、发行人	发明	是	是
	3	一种硅片台曝光区域六自由度位移测量方法	ZL201510197948.5	清华大学、发行人	发明	否	是
超精密控制技 术	1	一种用于光刻机工件台的线缆台	ZL201310388961.X	清华大学、发行人	发明	否	是
	2	一种基于VPX总线的工件台同步运动控制系统及方法	ZL201510983397.5	清华大学、发行人	发明	是	是
	3	一种掩模台平衡块合质心防飘移运动控制方法	ZL201610230822.8	清华大学、发行人	发明	否	是
双驱系统的龙 门同步控制技 术	尚未形成专利
大尺寸氮化铝 陶瓷及金属焊 接技术	尚未形成专利
激光背退火激 活技术	1	激光热处理装置	ZL201920315194.2	发行人	实用新型	是	否
	2	激光退火设备	ZL201921371760.8	发行人	实用新型	是	否
	3	激光退火系统	ZL201921880295.0	发行人	实用新型	是	否
	4	一种高效激光束流收集器	ZL201921987893.8	发行人	实用新型	是	否
3D集成晶圆 堆叠技术	1	一种晶圆低温键合系统	ZL202021984729.4	华卓精科	实用新型	否	否
	2	用于晶圆键合的键合盘以及晶圆键合装置	ZL202021985222.0	华卓精科	实用新型	否	否
	3	一种解键合装置	ZL202021986258.0	华卓精科	实用新型	否	否
	4	一种晶圆解键合设备的刺破装置	ZL202021993860.7	华卓精科	实用新型	否	否
	5	一种晶圆卡盘	ZL202021993490.7	华卓精科	实用新型	否	否
陶瓷表面微结 构加工技术	1	静电卡盘静电吸附力的测量装置	ZL201410324581.4	发行人	发明	否	是
	2	应用于J-R型静电卡盘的氧化铝陶瓷及其制备方法	ZL201610603222.1	发行人	发明	是	是
	3	石墨烯电极的静电卡盘装置	ZL201620163992.4	发行人	实用新型	否	是
	4	静电卡盘装置	ZL201620164034.9	发行人	实用新型	否	是
	5	手持式静电吸盘装置	ZL201620610230.4	发行人	实用新型	否	是
	6	陶瓷静电卡盘装置	ZL201620610232.3	发行人	实用新型	否	是
	7	平板型静电卡盘装置	ZL201620610733.1	发行人	实用新型	否	是
	8	陶瓷静电卡盘装置	ZL201620611847.8	发行人	实用新型	否	是
	9	一种静电卡盘	ZL202021304730.8	华卓精科	实用新型专利	否	否
	10	一种静电卡盘	ZL202021313945.6	华卓精科	实用新型专利	否	否
薄片晶圆高精 度、高速传输 技术	1	晶圆加工工艺中的传输装置	ZL201920052665.5	发行人	实用新型	是	否
	2	伯努利机械手在真空卡盘上放取晶圆系统	ZL201921972043.0	发行人	实用新型	是	否
超精密机电系 统设计技术	尚未形成专利

发行人现有核心技术对应的专利包括部分发行人与清华大学共有及发行人自主开发专利。其中，共有专利主要是发行人以技术转让、委托开发等方式从清华大学受让或与清华大学共同开发取得，发行人已与清华大学达成协议，享有独占实施使用的权利。对于发行人自主开发的专利，发行人作为唯一专利权人，有权对该等专利进行实施使用。

同时，发行人应用核心技术进行实际生产经营，实现超精密测控设备部件及整机的生产并提供相关技术开发服务，仅依靠实施上述专利并不能直接实现，核心技术获得应用的关键是完成技术工程化、商业化所需的相关制造工艺与技术的研发，并突破关键技术门槛，同时，发行人部分核心技术出于商业秘密保护的需要未申请专利而作为技术秘密进行保护。在上述研发过程中，发行人的全职研发团队人员起到了核心主导作用，同时发行人形成了一批享有完整所有权的非专利技术。

综上，发行人利用核心技术对应的专利及非专利技术进行生产经营不因清华大学在公司兼职人员及离岗创业人员参与上述知识产权的研发而受到影响与制约。

2、该等人员已形成或未来可能形成的与发行人主营业务有关的知识产权是否属于其在清华任职的职务成果，发行人与清华大学就现有及未来可能形成的该等知识产权的安排

截至 2021年6月30日 ，清华大学在公司兼职人员及离岗创业人员参与的授权专利及未来可能形成专利权的在审专利技术合计200项（含境外申请专利），相关情况如下：

产生原因	涉及专利（技术）数量（项）	专利权人	权属安排	实施使用安排	收益安排	依据文件
技术转让	115（均为授权专利）	发行人、清华大学	专利权（申请）人变更为清华大学和华卓有限	华卓有限有权在专利有效期及专利保护区域范围内以独占许可方式在光刻机及衍生技术范围内实施	技术转让、许可费400万元以及按年将包含但不限于光刻机工件台运动产品及隔振产品等与该项技术转让合同相关产品的年业务营业收入额的一定比例给予清华大学作为提成费用，直至该项技术转让合同有效期结束时终止	《技术转让合同书》（合同编号：20152000038）及其补充协议
委托清华 大学共同 开发	31（30项授专利，1项在审专利）	发行人、清华大学	因履行该合同所产生的专利技术（标的专利），由双方作为共同申请人，清华大学为第一申请人，发行人为第二申请人	发行人有权在专利有效期及全球范围内独占实施使用，清华大学同意将其作为标的专利权人所享有的使用实施权、诉讼权及求偿权全部授权给发行人，且将因专利侵权而获得的赔偿、补偿全部归发行人所有。清华大学享有荣誉权、报奖权以及在科学研究中使用的权利，但不得使用标的专利技术进行商业行为	因实施该项技术开发（委托）合同及补充协议确认的知识产权所获得的收益按照“光刻机双工件台技术转移与实施”《技术转让合同书》及其补充协议规定的相同方式纳入统一的提成款范围，发行人无需就相同产品的营业收入向清华大学重复支付提成费用	《技术开发（委托）合同》及其补充协议
02专项- 浸没式光 刻机双工 件台产品 研制与能 力建设项 目	17（8项授权专利，9项在审专利）	发行人、清华大学	由发行人与清华大学根据本项目任务分工完成的科技成果及其形成的知识产权，由双方共有，且发行人具有独占许可实施该知识产权的权利	由发行人与清华大学根据本项目任务分工完成的科技成果及其形成的知识产权，由双方共有，且发行人具有独占许可实施该知识产权的权利	收益分配纳入双方签署的编号为20152000038号《技术转让合同书》约定，发行人不再向清华大学另行支付知识产权使用费、许可费及其他后续收益提成费用	《2017年国家重大科技专项 <浸没式光刻机双工件台产品研制与能力建设> 项目联合申请协议》
02专项- 浸没双工 件台平面 光栅位置 测量系统 研发项目	18（9项授权专利，9项在审专利）	发行人、清华大学	由各方共同完成的科技成果及其形成的知识产权归各方共有，并且发行人具有独占许可实施该等知识产权的权利	由各方共同完成的科技成果及其形成的知识产权归各方共有，并且发行人具有独占许可实施该等知识产权的权利	未明确约定	《2018年国家重大科技专项 <浸没双工件台平面光栅位置测量系统研制> 项目联合申请协议》
自主开发	19（15项授权专利，4项在审专利）	发行人	——	——	——	——

如上表所述，发行人与清华大学进行技术转让、委托清华大学共同开发、承担国家科技重大专项过程中与清华大学共同开发取得共计181项授权专利及在审专利。由于该等专利技术涉及清华大学相关教职人员执行学校的任务或在其本职工作中完成的发明创造，体现为该等人员在清华大学的职务成果，故已将清华大学列为专利权（申请）人。根据发行人与清华大学签署的技术转让合同、技术开发（委托）合同以及国家重大科技专项项目联合申请协议等文件，上述181项专利技术为发行人与清华大学共同所有，且发行人具有独占实施使用的权利。

发行人与清华大学在双方签署的《技术转让合同书》（合同编号：20152000038）及其补充协议、《技术开发（委托）合同》及其补充协议、《2017年国家重大科技专项 <浸没式光刻机双工件台产品研制与能力建设> 项目联合申请协议》中已对双方共有的163项授权专利及在审专利的实施使用、收益等安排进行了明确约定。

截至 2021年6月30日 ，发行人与清华大学就02专项-浸没双工件台平面光栅位置测量系统研发项目共同开发过程中生成的18项授权专利及在审专利的实施使用安排已达成明确约定，但尚未就收益安排进行明确约定。发行人正在与清华大学就此进行协商处理。

如上表所述，发行人自主开发过程中，清华大学在公司兼职人员及离岗创业人员参与研发已形成15项授权专利及4项在审专利，发行人为上述19项授权专利及在审专利的专利权（申请）人。上述19项专利及在审专利技术均为该等人员执行公司的任务并主要是利用公司的物质技术条件所完成的发明创造，应为发行人的职务成果。

鉴于上述19项专利技术的发明人包含清华大学在公司兼职人员及离岗创业人员，清华大学可能对相关专利主张权利，为了明确发行人与清华大学对上述专利技术的权利义务，避免相关专利权利受到影响，发行人正与清华大学协商处理。

同时，发行人通过多年培育及引进行业高水平人才，已形成了一支高学历、跨学科、技术能力较强的研发团队，建成了具备进行集成电路装备研发相关领域技术开发及产业化应用的独立研发场所及完整的软硬件设施条件，已具备独立完整的研发体系。随着公司专职研发团队人数不断扩充、研发项目的不断增多、研发深度不断扩展，发行人对于外部兼职人员在公司研发项目中的需求逐渐降低，兼职人员参与公司研发申请专利等知识产权的可能性进一步降低。

未来如确有清华大学在公司兼职人员及离岗创业人员参与研发产生公司知识产权的情形，公司将区分以下情况分别进行处理：

（1）如发行人与清华大学在技术转让、委托开发、合作开发或共同承担研发任务过程中产生知识产权，发行人与清华大学将通过合同方式明确该等知识产权的权属、实施使用及收益等相关安排；

（2）如上述情形之外的原因产生知识产权，发行人与清华大学将根据过往与清华大学商定的方式及条件与清华大学进行协商，确定该等知识产权的权属、实施使用及收益等相关安排。

综上所述，发行人利用核心技术对应的专利及非专利技术进行生产经营不因清华大学在公司兼职人员及离岗创业人员参与上述知识产权的研发而受到影响与制约；对于涉及上述人员在清华大学职务发明形成的双方共有授权专利及在审专利，发行人均已取得独占实施使用的权利；对于上述人员参与的已形成或未来可能形成的与发行人主营业务有关的知识产权的安排情况如下：

（1）发行人与清华大学已通过合同方式对在技术转让、委托开发、共同承担02专项-浸没式光刻机双工件台产品研制与能力建设项目过程中产生的153项授权专利及10项在审专利的权属、实施使用及未来收益进行了明确安排；

（2）发行人与清华大学已通过合同方式对在02专项-浸没双工件台平面光栅位置测量系统研发项目过程中产生的9项授权专利及9项在审专利的权属及实施使用进行了明确安排，但尚未对该等专利及在审专利的收益安排进行明确约定；

（3）对于未来可能形成的知识产权，发行人将按照知识产权形成原因的不同情况与清华大学达成知识产权的相关安排。

（二）兼职人员的人事关系、劳动合同签订情况，发行人人员是否与清华大学相独立；

1、兼职人员的人事关系、劳动合同或劳务合同签订情况

截至本问询函回复之日，共有5名清华大学人员在发行人处兼职，具体情况如下：

序号	姓名	在发行人职务	在清华大学任职情况	兼职批复或离岗创新创业情况
1	朱煜	董事、首席科学家、核心技术人员	长聘教授、博士生导师	已取得兼职批复
2	徐登峰	董事	助理研究员	已取得兼职批复
3	张鸣	董事、技术顾问、核心技术人员	副研究员	已取得兼职批复
4	杨开明	董事、技术顾问	副研究员	已取得兼职批复
5	王磊杰	顾问	助理研究员	已取得兼职批复

朱煜、徐登峰、张鸣、杨开明、王磊杰5名兼职人员仍保留清华大学人事关系，劳动合同亦均与清华大学签署。

截至本问询函回复之日，发行人已与朱煜、张鸣、杨开明、王磊杰4人签署《劳务合同》，徐登峰只在发行人处兼任董事，未与发行人签署相关劳动合同或劳务合同。

根据上述4人签署的《劳务合同》，发行人聘请朱煜担任首席科学家职务，合同期限至2023年6月；聘请张鸣担任技术顾问职务，合同期限至2022年7月；聘请杨开明担任技术顾问职务，合同期限至2022年12月；聘请王磊杰担任技术顾问职务，合同期限至2022年8月。

2、发行人人员与清华大学相独立

朱煜、张鸣、杨开明、王磊杰4人取得清华大学兼职批复在发行人处担任技术咨询顾问类工作，为发行人研发过程中的重点难点研发问题提供理论性指导。上述4人均不直接参与发行人的日常技术开发工作。

上述4人虽然在发行人处担任技术咨询顾问类工作，但截至2020年 12月31日 ，发行人共有员工 402 人，并已经建立了 133 人规模的技术研发团队，除朱煜、张鸣2名兼职核心技术人员外，发行人另有5名专职员工担任核心技术人员，发行人日常大量的技术开发工作均是由发行人专职技术研发团队人员自主完成。

截至本问询函回复之日，发行人已独立聘任了总经理、副总经理、财务负责人、董事会秘书等高级管理人员。发行人与上述高级管理人员签署了相应的劳动合同并支付薪金报酬。

上述兼职人员在发行人处任职未对发行人的人员独立性产生不利影响，发行人与清华大学人员相独立。

（三）说明朱煜、成荣等人目前兼职或离岗创业状态是否存在期限限制和到期后的安排，结合该等人员对公司研发的重要性分析是否存在彻底解决非专职参与发行人工作的措施，分析该等人员未来不在公司任职的影响及是否构成对发行人生产经营的潜在重大不利影响；

1、说明朱煜、成荣等人目前兼职或离岗创业状态是否存在期限限制和到期后的安排

（1）清华大学在公司兼职人员的期限限制和到期后安排

根据朱煜、张鸣、杨开明、王磊杰于2020年提交的在发行人处兼职的申请并经清华大学人事处批复同意，朱煜在发行人的兼职期限至2023年6月22日，张鸣在发行人的兼职期限至2022年7月30日，杨开明在发行人的兼职期限至2022年12月31日，王磊杰在发行人的兼职期限至2021年7月31日。

根据朱煜、张鸣、杨开明、王磊杰4人出具的书面《承诺函》，若发行人顺利上市，上述4人在本次兼职期限届满前，将根据发行人的实际需要，向清华大学办理兼职批复，继续在发行人处从事兼职工作。如未能重新取得清华大学同意兼职的批复，则上述4人将从清华大学办理离职手续并全职在发行人处工作。

根据本保荐机构对上述人员所在的清华大学机械工程系主任的访谈，上述人员均能按要求履行学校及院系规定的教学研究工作，未对学校及院系相关工作开展造成负面作用，院系支持上述人员在发行人处兼职。

（2）清华大学在公司离岗创业人员的期限限制和到期后安排

根据《国务院关于印发实施 <中华人民共和国促进科技成果转化法> 若干规定的通知》（国发[2016]16号）规定，国家设立的研究开发机构、高等院校科技人员在履行岗位职责、完成本职工作的前提下，经征得单位同意，可以兼职到企业等从事科技成果转化活动，或者离岗创业，在原则上不超过3年时间内保留人事关系，从事科技成果转化活动。

根据《清华大学教职工校外兼职活动管理规定》（清校发[2018]39号）第16条规定，教职工离岗创新创业时间原则上不得超过三年，且不得超过聘用合同期限。

根据成荣与清华大学签署及续签的《离岗创新创业协议》，成荣在发行人进行离岗创新创业的期限自2020年9月1日至2022年1月31日；根据李鑫与清华大学机械工程系、清华大学人事处签署及续签的《离岗创新创业协议》，李鑫在发行人进行离岗创新创业的期限自2020年9月1日至2022年12月31日。

根据成荣、李鑫出具的《承诺函》，上述人员离岗创业期限届满后的安排如下：

根据清华大学的相关规定，清华大学机械工程系研究系列岗位人员实行聘用制，成荣、李鑫聘期届满时需进行续聘考核，考核合格并满足续聘条件的可以与清华大学续签聘用合同，并向清华大学申请续签离岗创业协议，将离岗创业期限相应延期至3年，即离岗创业期限延长至2023年8月届满。

若发行人顺利上市，且上述现有《离岗创新创业协议》或续聘后续签离岗创业协议期限届满前，成荣、李鑫未能与清华大学签署继续离岗创业的协议，则将从清华大学办理离职手续并全职在发行人工作。

综上，朱煜、成荣等人目前的兼职或离岗创新创业状态均存在期限限制，上述人员已对到期后的情况作出相关安排。

2、结合该等人员对公司研发的重要性分析是否存在彻底解决非专职参与发行人工作的措施，分析该等人员未来不在公司任职的影响及是否构成对发行人生产经营的潜在重大不利影响

成荣在发行人担任董事会秘书，主要负责协助处理董事会的日常工作，信息披露事务及投资人关系管理等工作；李鑫在发行人担任营销总监，主要负责公司销售部的产品市场推广策划及相关经营管理工作，上述2人均不直接参与发行人的日常研发工作。

成荣、李鑫已出具《承诺函》：若发行人顺利上市，且上述现有《离岗创新创业协议》或续聘后续签离岗创业协议期限届满前，未能与清华大学签署继续离岗创业的协议，则将从清华大学办理离职手续并全职在发行人工作。

朱煜、张鸣从事多年光刻机双工件台理论基础研究及原理样机的研制，在超精密测控领域积累了深厚的理论基础，作为公司技术顾问，在公司光刻机双工件台产品产业化的落地过程中，为技术方案选择及技术难题解决方面提供了理论性指导。发行人经过多年团队建设，在光刻机双工件台具体研发方面已经组建了以张利为研发带头人，下设3个研发小组，以及数十名涵盖多学科专业的技术骨干团队，核心研发成员硕士及以上学历占比高达60%以上，上述人员形成了公司多学科、多层次研发体系的有力支撑，为公司重点推进光刻机双工件台及平面光栅等超精密测控项目的研究和开发提供了高水平研发人员的保障。

杨开明主要从事超精密控制技术领域的研究，作为公司技术顾问，主要对接公司控制工程部的相关研发工作，为光刻机双工件台控制调试过程中的技术难题提供理论技术指导。发行人经过多年团队建设，已组建了以段宏宇、陈海宁、李晓通为代表的十余名从事集成电路设备控制调试的专业团队骨干，已在控制工程方面具备独立自主研发的能力，开展具体研发工作过程中不存在对杨开明的依赖。

王磊杰主要从事光学测量技术领域的研究，作为公司技术顾问，主要对接公司光学工程部的相关研发工作，为平面光栅测量技术研发过程中的测量标定技术提供理论技术指导。发行人经过多年团队建设，已组建了以陈静为首的二十余名从事光机电专业协同的骨干队伍，已在平面光栅测量标定技术方面具备独立自主研发的能力，开展具体研发工作过程中不存在对王磊杰的依赖。

发行人自设立以来一直注重研发人才引进及研发队伍建设。截至2020年12月31日 ，发行人研发人员由 2018 年 的68 人增加到 133 人，占员工总数33.08% ，其中硕士及以上学历 62 人，占研发员工总数的 46.62% 。发行人已建立多层次研发人才梯队，为公司开发新产品、开拓新业务、提高市场响应速度提供了良好的技术基础。

发行人持续加大研发投入，报告期各期，公司研发投入分别为1,374.99万元、1,741.59万元和 2,137.09 万元，占营业收入的比例分别为16.04%、14.40%和 14.03% ，呈上升趋势。若考虑采用净额法核算的政府补助研发投入金额，报告期各期，公司研发总投入分别为8,256.56万元、14,181.84万元和 19,486.17 万元，占营业收入的比例分别为96.33%、117.24%和 127.91% ，远高于同行业可比公司。

发行人专职研发团队人员具备承担自研项目的能力，报告期内，发行人开展了Ni Salicide激光退火机台研发项目、氮化铝PVD ESC产业化研究项目、多区温控Etch ESC开发项目、玻璃陶瓷ESC开发项目、动铁式可切换直线模组项目、高温度性能静电卡盘研发及产业化项目等为代表的的一批自主研发项目。上述项目均由发行人全职研发团队完成，体现出发行人的研发团队已具备自主研发能力。

发行人已经具备完备的产品及技术研发、生产工艺改进能力，发行人的自有全职研发团队人员具备独立研发能力，能够具体进行发行人的日常研发工作。随着公司全职研发团队人数不多扩充、研发项目的不断增多、研发深度不断扩展，外部兼职人员对于公司的研发重要性将越来越低。

发行人凭借在超精密机电系统设计技术及超精密位移测量技术等技术领域的多年积累，已具备根据不同客户在不同环境、不同领域的产品需求，进行定制化的生产设计的能力。发行人销售骨干大多具备技术背景，能熟悉各产品的性能及结构等参数，可对产品提供全面介绍，快速帮助客户了解公司产品特性。发行人已建立一支具有较强市场营销能力的销售团队。

发行人独立拥有与生产经营有关的生产系统、辅助生产系统和配套设施及团队人员，合法拥有与生产经营有关的机器设备以及专利、非专利技术的所有权或者使用权。发行人已建立独立的决策和执行机构，拥有独立的研发部门，设置了独立的供应、生产、销售部门及相关业务体系，并且拥有从事主营业务所需的生产经营性资产。发行人具备面向市场自主经营的能力。

综上所述，朱煜、成荣等人在公司兼职及离岗创业状态存在期限限制，上述人员已出具承诺作出了期后的安排；随着公司自主研发能力的不断增强，清华大学在公司兼职人员对于公司研发的重要性将越来越低，未来不在公司任职对发行人生产经营不构成潜在重大不利影响。

（四）胡楚雄等人员在公司生产经营中发挥的作用，不再提供顾问服务对公司目前生产经营是否构成重大不利影响。

胡楚雄已于2020年4月辞任发行人顾问职务。胡楚雄担任顾问期间职责是为发行人控制工程部自标定测量技术的研发提供技术交流与指导。胡楚雄仅对上述研发提供技术交流与指导，不承担发行人的具体研发任务，不参与发行人经营管理决策程序，不属于公司的核心技术人员，对发行人研发活动和生产经营所起的作用较小。

截至本问询函回复之日，发行人控制工程部共有30人，其中参与自标定测量技术研发人员共计2名，上述研发人员能够独立完成自标定测量技术的研发工作。胡楚雄2020年4月离任后，公司在自标定测量技术的研发方面的研发工作未受到影响，公司的各项生产经营活动均正常进行。

胡楚雄在公司生产经营中所起的作用较小，胡楚雄不再提供顾问服务不会对发行人目前的生产经营构成重大不利影响。

二、中介机构核查意见

（一）核查程序

针对上述事项，保荐机构和发行人律师履行了以下核查程序：

1、查阅发行人与清华大学签署的《技术转让合同书》（光刻机工件台技术转让与实施）及其补充协议；

2、查阅发行人与清华大学签署的《技术开发（委托）合同》及其补充协议；

3、查阅发行人与清华大学签署的《2017年国家重大科技专项 <浸没式光刻机双工件台产品研制与能力建设> 项目联合申请协议》及《2018年国家重大科技专项 <浸没双工件台平面光栅位置测量系统研制> 项目联合申请协议》； 4、查阅发行人报告期内已取得专利的专利证书及在审未授权专利的申请文件，明确相关专利（申请）所对应发明人是否涉及清华大学在公司兼职人员及离岗创业人员等情况；

5、访谈清华大学副秘书长、清华大学机械工程系主任、清华大学机械工程学院院长以及技术转移研究院院长，了解发行人在与清华大学合作研发过程中关于技术成果的归属安排以及双方是否存在纠纷等事项；

6、访谈发行人实际控制人以及其他兼职人员及离岗创业人员，了解发行人清华大学兼职人员及离岗创业人员参与公司研发产生知识产权的权属情况； 7、访谈清华大学技术转移研究院负责人，了解清华大学兼职人员及离岗创业人员参与公司研发产生知识产权的相关情况；

8、查阅清华大学出具的同意相关人员在发行人兼职的书面批复；

9、查阅清华大学在线服务系统关于同意朱煜、杨开明、张鸣、王磊杰在发行人兼职的审批记录；

10、访谈清华大学机械工程系主任，了解清华大学在公司兼职人员是否对其在学校的教学研究任务造成影响以及院系对人员兼职的意见；

11、查阅李鑫、成荣与清华大学机械工程系、清华大学人事处签署的《离岗创新创业协议》；

12、查阅发行人与兼职人员签署的《劳务合同》以及与离岗创业人员签署的《劳动合同》；

13、查阅发行人与离任顾问胡楚雄解除顾问服务的协议。

（二）核查结论

经核查，保荐机构及申报律师认为：

1、发行人利用核心技术对应的专利及非专利技术进行生产经营不因清华大学在公司兼职人员及离岗创业人员参与上述知识产权的研发而受到影响与制约；对于涉及上述人员在清华大学职务发明形成的双方共有授权专利及在审专利，发行人均已取得独占实施使用的权利；对于上述人员参与的已形成或未来可能形成的与发行人主营业务有关的知识产权的安排情况如下：

（1）发行人与清华大学已通过合同方式对在技术转让、委托开发、共同承担02专项-浸没式光刻机双工件台产品研制与能力建设项目过程中产生的153项专利及10项在审专利的权属、实施使用及未来收益进行了明确安排；

（2）发行人与清华大学已通过合同方式对在02专项-浸没双工件台平面光栅位置测量系统研发项目过程中产生的9项专利及9项在审专利的权属及实施使用进行了明确安排，但尚未对该等专利及在审专利的收益安排进行明确约定；

（3）对于未来可能形成的知识产权，发行人将按照知识产权形成原因的不同情况与清华大学达成知识产权的相关安排。

2、清华大学兼职人员在发行人处任职未对发行人的人员独立性产生不利影响，发行人与清华大学人员相独立；

3、朱煜、成荣等人在公司兼职及离岗创业状态存在期限限制，上述人员已出具承诺作出了期后的安排；随着公司自主研发能力的不断增强，清华大学在公司兼职人员对于公司研发的重要性将越来越低，未来不在公司任职对发行人生产经营不构成潜在重大不利影响；

4、胡楚雄在公司生产经营中所起的作用较小，胡楚雄不再提供顾问服务不会对发行人目前的生产经营构成重大不利影响。